“IC级硅抛光片”项目通过省级验收

　　8月5日，万向硅峰电子股份有限公司承担的省科技重大科技专项项目“IC级硅抛光片”通过了省级验收。
　　该项目采取自主开发和引进消化相结合，使生产线从原来的只能加工Ф100mm-5mm硅单晶抛光片提升改造为能加工Ф100mm-50mm IC级硅单晶抛光片，使得产品主要技术指标满足从线宽1.0μm提高到0.5μm集成电路的制造，同时使产品品种从轻掺硅单晶抛光片扩大升级到重掺硅外延衬底抛光片。该产品经国家有色金属及电子材料分析测试中心测试合格，产品各项主要质量指标符合国际SEMI标准和国家标准，经国内外用户使用并经1000小时老化试验，产品性能稳定可靠，各项质量指标能满足线宽0.5μm以上大规模集成电路的制造和应用，具有较好的市场前景。（开化县科技局 汪美华 陆东花）